
在半導(dǎo)體生產(chǎn)中,光刻機(jī)是核心設(shè)備,不僅決定了芯片制造的工藝水平,也是耗時(shí)最多、成本最高的一步,目前先進(jìn)的7nm、5nm及接下來(lái)的3nm都需要EUV光刻機(jī),一臺(tái)售價(jià)將近10億人民幣,目前還是供不應(yīng)求。
EUV光刻機(jī)目前只有荷蘭ASML公司可以生產(chǎn),他們的產(chǎn)能將決定全球先進(jìn)工藝擴(kuò)張的速度,日前ASML公司高級(jí)副總裁Christophe Fouquet在高盛會(huì)議上確認(rèn),將增加EUV光刻機(jī)的產(chǎn)能。
他們?cè)绢A(yù)計(jì)在2025年的時(shí)候EUV年產(chǎn)能是70臺(tái),現(xiàn)在決定提升到每年90臺(tái),有助于緩解產(chǎn)能不足的問(wèn)題。
今年Q2季度還沒(méi)結(jié)束,ASML公司就收到了超過(guò)100臺(tái)EUV光刻機(jī)的訂單,這已經(jīng)大大超過(guò)了他們的產(chǎn)能,今年該公司計(jì)劃出貨EUV光刻機(jī)不過(guò)55臺(tái),只能滿足一半的訂單量,客戶都要排隊(duì)等待。
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